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一、真空泵配件有：

1. 油雾过滤器（别名：油雾分离器，排气过滤器，排气滤芯） 

真空泵油雾分离器在推动力的作用下，位于一侧的油气混合物中的通过真空泵油雾分离器的滤纸及棉质。油则被截留，从而实现气体与真空油的分离操作过程。被过滤掉的真空泵油随着回油管进行循环利用，排出的则是无油的废气，而达到没有污染，洁净的效果。

2. 空气过滤器（别名：空气滤芯 ）  

真空泵的滑动的空隙很小，外来的介质含颗粒、污垢，会破坏滑动面，豁附或阻塞泵的滑动面，造成泵不能正常工作。为了防止外来物被吸人泵中，需要使用过滤器来阻挡其进人泵中。万一有空气杂质没有过滤清掉，进入泵浦内，可能导致油管堵塞，润滑油变混，所以选择空气滤芯，必要要选择真品。 后期保养和维修：使用真空泵空气过滤器要定期清理，防止停留在过滤器的杂质吸入泵浦内造成泵浦卡死等现象发生。

3. 油过滤器（别名：油格）

油格又名油过滤器，真空泵油过滤器是很多进口真空泵配置的一油过滤装置，设置在泵浦回油管路上，主要用途是在回油箱中捕获体系内发生或者是侵入的污染物。因此它也是控制体系污染浓度的重要的过滤装置。

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一、真空泵结构要点：

真空泵的泵体的布置结构决定了泵的总体结构。立式结构的进、排气口水平设置，装配和连接管路都比较方便。但泵的重中心较高，在高速运转时稳定性差，故这种型式多用于小泵。

卧式泵的进气口在上，排气口在下。有时为了真空系统管道安装连接方便，可将排气口从水平方向接出，即进、排气方向是相互垂直的。此时，排气口可以从左或右两个方向开口，除接排气管道一端外，另一端堵死或接旁通阀。这种泵结构重中心低，高速运转时稳定性好。一般大、中型泵多采用此种结构。

泵的两个转子轴与水平面垂直安装。这种结构装配间隙容易控制，转子装配方便，泵占地面积小。但泵中心较高且齿轮拆装不便，润滑机构也相对复杂。

一、真空泵配件常见的失效情况

1、磨损

磨损是真空泵配件常见的一种失效模式，一种是在有润滑条件下，零部件之间接触表面的摩擦磨损，常发生在齿轮、缸体、叶片、转子滑动轴承、滚动轴承中。这类磨损速度缓慢，磨损失效主要与润滑、密封条件有关。另一种是在无润滑条件下，零件相互摩擦或物料对零件表面摩擦所造成的磨损，这在真空泵中尤其突出。如联轴器、2X泵的皮带轮、螺杆真空泵的双螺杆等等。这类磨损速度比前者快得多，主要与金属材料性能与物料性质有关。对于油式真空泵来讲，润滑中的磨损尤为突出，大多由于真空泵油变质，以及外来杂质导致润滑不畅导致。

2、疲劳破断

疲劳是一种失效机理，产生裂纹是一种失效模式。它们常常后导致零件的破断。这种疲劳破断失效过程一般都存在于受交变负荷的轮齿件中。常见于联接螺栓、地脚螺栓、弹簧等零件，也会发生齿轮传动轴等重要零件中。疲劳破断所牵涉的因素很多，需要针对失效零件作具体分析，找出原因采取对策。

3、变形

变形也是真空泵零件常见的一种失效模式。由于泵浦在高速运行时会产生一些的高温。诸如壳体、板件等常处于受热状态，易发生。逐步产生的塑性变形，不能恢复零部件原有的几何尺寸与形状，严重时将造成设备故障。如密封圈，油封等。

4、腐蚀

腐蚀是真空泵零件失效的又一种模式。常见于工艺较为复杂的PCB，化工等工况下运行的真空泵中。

一、真空泵配件常见的失效情况

（一）抽不到真空泵的极限真空度：首先检查真空系统的气密性，看是否有轻微漏气。其次应打开气镇，让泵运行30分钟左右,来抽干非泵油污染引起的可压缩蒸汽，排除可压缩蒸汽对极限真空度的影响。

在排除以上两个因素后，其他原因主要有：泵油污染，需要换油；泵内油过滤器堵塞，引起压缩注油系统油路不畅，供油不足，导致泵体密封不严，这时需要清洗内部油过滤器；配油器阀门变形、磨损或损坏也可导致供油不足，这时应检查更换配油器阀门；

长时间使用引起真空泵的旋片磨损或转子内的弹簧张力不足,，导致吸气室和排气室隔离不严，从而引起真空泵的抽真空性能下降，这时应当更换旋片和弹簧，并清洗转子和泵腔；检查排气阀门，观看其动作是否失灵，导致排气不畅，必要时应更换排气阀

硫酸铜CuSO4又叫无水硫酸铜，为白色或灰白色粉末。溶液呈酸性，粉尘刺鼻性很强。溶于水及稀的乙醇中而不溶于无水乙醇。在潮湿空气中易潮解，在高温中形成黑色氧化铜。

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一、真空泵技术原理：

按真空泵的工作原理，真空泵基本上可以分为两种类型，即气体传输泵和气体捕集泵。气体传输泵是一种能使气体不断的吸入和排出，借以达到抽气目的的真空泵。气体捕集泵是一种使气体分子被吸附或凝结在泵的内表面上，从而减小了容器内的气体分子数目而达到抽气目的的真空泵。

真空泵是用各种方法在某一封闭空间中产生、改善和维持真空的装置。真空泵可以定义为：利用机械、物理、化学或物理化学的方法对被抽容器进行抽气而获得真空的器件或设备。随着真空应用的发展，真空泵的种类已发展了很多种，其抽速从每秒零点几升到每秒几十万、数百万升。按真空泵的工作原理，真空泵基本上可以分为两种类型，即气体传输泵和气体捕集泵。随着真空应用技术在生产和科学研究领域中对其应用压强范围的要求越来越宽，大多需要由几种真空泵组成真空抽气系统共同抽气后才能满足生产和科学研究过程的要求，由于真空应用部门所涉及的工作压力的范围很宽，因此任何一种类型的真空泵都不可能完全适用于所有的工作压力范围，只能根据不同的工作压力范围和不同的工作要求，使用不同类型的真空泵。为了使用方便和各种真空工艺过程的需要，有时将各种真空泵按其性能要求组合起来，以机组型式应用。

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