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晶圆切割后清洗，CO2雪花清洗是干冰清洗的另一种形式|雪花清洗技术雪花清洗|干冰雪花清洗|CO2雪花清洗冰清洗和雪花清洗的原理CO₂干冰清洗· 清洗的原理1.干冰颗粒（1-3um) 用高压空气压喷到工件表面2.表面污垢受冷变形，干冰的冲击和压力将污垢冲/吹离表面3.干冰升华600倍体积膨胀，爆散离开表面的污垢4.辅助吸尘或外部气流工件带走粉尘。· 清洗的本质1.干冰颗粒一直运送到喷嘴，喷出干冰，2.靠干冰冲击和压力清洗3.需另加：洗后平行至后吸尘或用压缩空气。· 工艺和设备液态输运→储罐→控温调压→输液→制冰机→干冰→储冰机→输冰→干冰切割机→输冰→喷射控制系统→干冰喷嘴→喷出压缩空气/吸风+ 送排风CO₂ 雪花清洗· 清洗的原理1.CO₂液体（6bar）喷出后，产生雪花晶体(0.3-1um)，喷敷到工件表面。2.表面污垢受冷微变形，3.雪花升华产生600倍体积膨胀，爆开污垢，4.平行喷出的压缩空气将粉尘吹离工件表面。· 清洗的本质1.CO₂液体一直运送到喷嘴,喷后产雪花，2.靠CO₂升华微爆力清洗3.洗后平行至后用压缩空气。· 工艺和设备液态输运→储罐→调压升温→输液→雪花控制系统→雪花喷头→喷出送排风两种清洗系统的比较迪史洁（上海）清洗设备有限公司，专注于干冰、设备研发、生产、销售及干冰清洗服务于一体的高新企业，目前在上海、苏州、广东、成都、武汉、合肥等地都拥有自己生产基地和销售团队。公司于2018年获高新技术企业殊荣，并成功通过了ISO9001质量管理体系，ISO14001环境管理体系，OHSAS18001管理体系认证等，且拥有几十项专利技术。

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