手动探针台测试晶圆探针台失效分析IV测试光电测试 创谱仪器
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查看该公司全部产品>>产品信息: 在实际得科研生产中,由于样品/晶圆(Wafer)得尺寸越来越大,用于测试的探针台相当昂贵,我司根据客户市场应用自主研发的这款结构小巧,功能实用,成本较低的简易式探针台,在满足基本测试功能基础上,去除了非必要得部件,该探针台系统包含:光学成像部分,隔振平台,探针座,四维调整载片台(Chuck),真空吸附系统; 创谱仪器可以根据客户应用搭建探针台,以达到更好得使用效果和性价比。 技术参数: ◆样品台XYZR四维调节,XY行程根据样品台尺寸/晶圆尺寸而定,Z轴行程10mm,XYZ整体分辨率3μm,360°旋转粗调可锁紧 ◆兼容多种光学显微镜,可以引入光路,完成光电mapping测试 ◆整体尺寸小,方便携带,底部隔振地脚,提高测试稳定性 ◆漏电流精度:10pA/100fa(屏蔽箱内) ◆探针采用交叉滚珠导轨/精密燕尾槽,线性移动,无回程差设计 ◆1微米以上电极/PAD使用 ◆U型探针架,可以放置多个探针座 ◆多被用于晶圆测试、LED测试、功率器件测试、MEMS测试、PCB测试、液晶面板测试、太阳能电池片测试、材料表面电阻率测试等;广泛用于科研院校以及公
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