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在半导体行业中，电子级双氧水（Electronic Grade Hydrogen Peroxide）起着非常重要的作用。电子级双氧水是经过特殊处理、纯度较高的双氧水，其纯度一般要求在99.999%以上，广泛应用于半导体生产中的多个环节。

首先，电子级双氧水用于半导体生产中的表面清洁。在半导体芯片的制造过程中，表面的清洁非常关键。在制造过程中，工作平台、工具以及制品表面都会受到污染，这些污染物会严重影响芯片的质量和性能。而电子级双氧水在表面清洁过程中的应用十分广泛。通过使用电子级双氧水进行表面清洁，可以有效去除表面的有机和无机污染物，保证芯片的纯度和可靠性。

其次，电子级双氧水用于半导体生产中的蚀刻和清洗。在半导体制造过程中，蚀刻和清洗是非常重要的步骤。蚀刻是通过化学反应去除对芯片性能有害的层，以保证芯片功能的正常发挥。而清洗则是为了除去蚀刻过程中产生的残留物，避免对后续工艺步骤产生不良影响。电子级双氧水作为一种具有较强氧化性能的物质，被广泛用于半导体生产中的蚀刻和清洗过程中，可以起到、清洁的作用。

此外，电子级双氧水还用于半导体生产中的溅射源的清洗。在制造半导体薄膜时，常采用溅射沉积技术。而溅射过程中，溅射源表面会有沉积物，污染源对于薄膜质量的影响也会导致芯片性能下降。电子级双氧水可以用于溅射源的清洗，去除表面的沉积物，保证溅射源的清洁和稳定，进而保证薄膜的质量。

此外，电子级双氧水还用于半导体行业中的硅晶圆表面处理。在半导体生产过程中，硅晶圆的表面处理是非常重要的一步。电子级双氧水可以在硅晶圆表面形成一层非常薄的过氧化硅膜（SiO2），以增强硅晶圆的质量和稳定性。

此外，

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