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真空泵在长期运用后，真空泵会出现真空度降低、密封处漏油、真空泵运转停滞等现象，以至于造成严重的油污染、真空泵腔生锈、旋片有大的撞击声，真空泵腔内掉落硬物划伤真空泵腔、导致真空泵过热等不正常现象，这时必需对真空泵进行拆洗。有以下8个步骤：

1、切断真空泵的电源，将真空泵从真空设备上拆下来。 

2、用重力法或者是加压法将废油排放出来并搜集起来，避免污染环境。

3、将皮带、皮带轮积键(双级旋片真空泵包含皮带)拆卸下来。

4、先将低真空端拆下来，取下后端盖，再取出低真空转子、旋片及弹簧等。

5、将前端盖拆下，取出高真空转子、旋片及弹簧等。

6、将视镜、排气阀、排气盖等拆卸下来。

7、将所有拆下来的金属零件用汽油清洗洁净，并且用酒精脱水。橡胶零件能够用15%的氢氟化钠水溶掖煮沸去油。对有毛刺或生锈的零件；能够用油石或金相砂纸磨去，可以去除锈斑和毛刺。清洗后的零件必需烘干。

8、真空泵装配时，先装后级，将弹簧、旋片托起装入转子内，然后放进真空泵腔。装上前端盖，再装定位销，平均对称地拧紧螺钉。装配后，应该转动灵敏、平均。装好前级转子及后端盖后，再装排气阀及剩余部件。

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