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一、真空泵配件常见的失效情况

1、磨损

磨损是真空泵配件常见的一种失效模式，一种是在有润滑条件下，零部件之间接触表面的摩擦磨损，常发生在齿轮、缸体、叶片、转子滑动轴承、滚动轴承中。这类磨损速度缓慢，磨损失效主要与润滑、密封条件有关。另一种是在无润滑条件下，零件相互摩擦或物料对零件表面摩擦所造成的磨损，这在真空泵中尤其突出。如联轴器、2X泵的皮带轮、螺杆真空泵的双螺杆等等。这类磨损速度比前者快得多，主要与金属材料性能与物料性质有关。对于油式真空泵来讲，润滑中的磨损尤为突出，大多由于真空泵油变质，以及外来杂质导致润滑不畅导致。

2、疲劳破断

疲劳是一种失效机理，产生裂纹是一种失效模式。它们常常后导致零件的破断。这种疲劳破断失效过程一般都存在于受交变负荷的轮齿件中。常见于联接螺栓、地脚螺栓、弹簧等零件，也会发生齿轮传动轴等重要零件中。疲劳破断所牵涉的因素很多，需要针对失效零件作具体分析，找出原因采取对策。

3、变形

变形也是真空泵零件常见的一种失效模式。由于泵浦在高速运行时会产生一些的高温。诸如壳体、板件等常处于受热状态，易发生。逐步产生的塑性变形，不能恢复零部件原有的几何尺寸与形状，严重时将造成设备故障。如密封圈，油封等。

4、腐蚀

腐蚀是真空泵零件失效的又一种模式。常见于工艺较为复杂的PCB，化工等工况下运行的真空泵中。

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