产品介绍
复合式为将乱流式及层流式予以复合或并用,可提供局部超洁净之空气。, (1)洁净隧道(Clean,Tunnel):以HEPA或ULPA过滤器将制程区域或工作区域 覆盖使洁净度等级提高至10级以上,可节省安装运转费用。, 此型式需将作业人员之工作区与产品和机器维修予以隔离,以避免机器维修时影响了工作及品质,ULSI制程大都采用此种型式。, 洁净隧道另有二项优点:A.弹性扩充容易,,B.维修设备时可在维修区轻易执行。, (2)洁净管道(Clean,Tube):将产品流程经过的自动生产线包围并净化处理,将洁净度等级提至100级以上。因产品和作业员及发尘环境相互隔离,少量之送风即可得到良好之洁净度,可节省能源,不需人工的自动化生产线为最适宜使用。药品、食品业界及半导体业界均适用。, (3)并装局部洁净室(Clean,Spot):将洁净室等级10,000~100,000之乱流洁净室内之产品制程区的洁净度等级提高为10~1000级以上,以为生产之用,洁净工作台、洁净工作棚、洁净风柜即属此类。,
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