无尘室：是指将一定空间范围内之空气中的微粒子、有害空气、细菌等之污染物排除，并将室内之温度、洁净度、室内压力、气流速度与气流分布、噪音振动及照明、静电控制在某一需求范围内，而所给予特别设计之房间。无尘室要有符合环境、无尘室内部的清洗溶液及振动、设备、空气过滤系统的耐久材料。而耐久性，同时也依赖无尘室等级来建造。半导体 Fabs 倾向选择铝，基于它的耐久性，然而，它不是便宜的物质。对无尘室 C/R 而言，较严格要求的部分为地板、天花板，以及墙壁的部分。