产品介绍
FT-391系列手持式四探针方阻测试仪
一、 概述:
参照硅片电阻率测量的 标准(ASTM F84)及国家标准设计制造该仪器设计符合GB/T 1551-2009 《硅单晶电阻率测定方法》、GB/T 1551-1995《硅、锗单晶电阻率测定直流两探针法》、GB/T 1552-1995《硅、锗单晶电阻率测定直流四探针法》,采集高精密集成电路恒流源系统,提供便捷的操作模式,便携式外形结构,可充电式电源系统,中英文语言版本.
二、 功能介绍:
便携式外形结构更加适用于车间生产、品管抽检,外出携带测量等要求快速便捷测量的场所;也适用于中小型半导体材料生产企业.具有高性价比优势.
液晶显示,显示方阻、电阻率、电流、电压、探针形状、探针间距、厚度,样品厚度单位从米到纳米均可输入,自动测量、质量轻便,操作简便;
三、适用范围:
四、技术参数资料
规格型号
FT-391A
FT-391B
FT-391C
1.方块电阻范围
10~ ×102Ω/□
10~ ×103Ω/□
10~ ×104Ω/□
2.电阻率范围
1~2×103Ω-cm
1~2×104Ω-cm
1~2×105Ω-cm
3.分辨率
Ω
Ω
Ω
4.显示读数
液晶显示:电阻率、方阻、单位换算、电流、电压、探针形状、探针间距、厚度
5.测试方式
单电测量
6.工作电源
5V,1000mA