六甲基二硅氮烷
简  称 HMDS
别  名 六甲基二硅胺烷 | 双（三甲基硅）胺烷
外文名 HEXAMETHYLDISILAZANE
分子式 (CH3)3SiNHSi(CH3)3
分子量
CAS号 999-97-3
EINECS 213-668-5
密  度 — ;
折光率 ±
闪  点 27℃
沸  点 126℃ 
色  度 ≤10
性　状 无色透明液体、略带胺味
溶解性 溶于有机溶剂
用　途：
1.特种有机合成。硅藻土、白炭黑、钛等粉末的表面处理。半导体工业中光致刻蚀剂的粘结助剂。
2.为阿米卡星中间体，是羟基及氨基保护剂
3.用于生产橡胶、药物。该品是消减气相色谱载体表面吸附活的减尾剂。
4.碱性硅烷化保护剂，无机填料处理剂