晶圆搬送机械臂_真空3轴圆柱坐标洁净机械手 晶圆搬送机械臂_真空3轴圆柱坐标型机械手特点：  真空3轴圆柱坐标型机械手臂SVCR3000系列 双手指结构可以在真空腔室内搬运4kg以下的托盘 相比LVHR系列机械手臂具有较好的性价比优势 手臂关节处使用磁流体密封装置 真空密封：磁流体密封装置和波纹管 提高洁净度的方法：手臂内部排气口安装5μm级过滤器 配备动作监视器 控制通讯方式：RS232C及并口I/O方式 全轴采用2相步进电机 S曲线加减速控制方式能够高速，高精度地搬运半导体晶圆 可以选配2相步进电机规格 手指材质：CFRP(碳纤维),铝合金，高纯度陶瓷等多种可选材质 晶圆固定方式：下托式，利用晶圆自重的边缘夹持式 可以针对搬运物体，客户设备布局的实际情况提供手指 3轴晶圆搬送机械臂基本参数： 使用环境                   洁净间内的大气环境真空 手臂                         单臂 到达距离                   640mm (手臂第3关节中心到达距离) 升降轴MAX行程         60mm 可搬运质量                10kg (手臂第3关节处基准) 了解更多：http://www.hapoin.com/wafer_transfer_robot/ 晶圆搬送机械臂_真空3轴圆柱坐标洁净机械手相关产品： 衡鹏供应 防水式4轴圆柱坐标洁净机械手臂 5轴水平多关节型晶圆搬运机械手