7134_ADT切割机/Dicing（多角度） 7134多角度切割机拥有 4" 高功率空气轴承主轴，30krpm时2.5KW。直流无刷电机，闭环速度控制。覆盖12" 的圆形产品、12" x 9" 方形基板带框架或 12" x 12" 卡盘（不带框架）。 系统配有闭环转向台，针对多角度切割进行优化，适用各种产品，例如： ·陶瓷基板 ·氧化铝 ·混合物 ·厚膜设备等 ADT切割机/Dicing 7134系统规格： 大面积系统配置：300mm x 300mm 刀片尺寸：4"-5" 主轴：空气轴承，直流无刷，30 krpm/2.5 kW 分度轴（y） 驱动装置：滚珠轴承丝杆，配步进电机 控制：线性编码器 分辨率：0.2 μm 累积精度：1.5 μm 分度精度：1.0 μm 传送轴（X） 气动滑块 驱动装置：滚珠轴承丝杆，配直流无刷电机 传送速度：高达 600 mm/sec 切割深度轴（z） 驱动装置：滚珠轴承丝杆，配步进电机 分辨率：0.2 μm 精度：2.0 μm 重复精度：1.0 μm 行程：50 mm 旋转编码器 Z线性编码器 - 可选件 Z间隙高达3" - 可选 旋转轴 驱动：闭环、直接驱动、直流无刷 精度：4 arc-sec 重复精度：4 arc-sec 行程：350度 了解更多：http://www.hapoin.com/wafer_dicer/ ADT多角度切割机/Dicing 7134相关产品： 衡鹏供应 ADT 8020系列双轴晶圆切割机 ADT 7220系列单轴晶圆划片机 ADT 8230全自动双轴12寸切割机