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一：超声波扫描显微镜，通常称做SAM或者SAT是检测离层、裂痕和其他缺陷必不可少的工具. 它不仅能检测出缺陷,更能清楚的指出缺陷的位置.

二：超声扫描成像显微成像技术应用：

1.微电子:塑封IC,陶瓷电容,模片固定,芯片级封装,倒装,

印刷电路板（PCB）等

2.微机械系统:粘结芯片,制造工艺评估,包装

3.军事/航天/汽车电子:高可靠性资格筛选,产品升级筛选

4.材料:陶瓷,剥离,金属,塑料,化合物

5.其他:微阵列芯片,生物芯片,微射流技术,传感器等

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