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深圳3d光学轮廓仪检测仪器

供应商:深圳市中图仪器股份有限公司【公司商铺】

所在地:广东省深圳市

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价格:面议

品牌:中图仪器

发布时间:2022-04-25

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中图仪器的SuperViewW系列深圳3d光学轮廓仪检测仪器能够以优于纳米级的分辨率,以非接触式测量样品表面形貌,主要用于表面形貌纹理,微观结构分析,广泛应用于材料,光学,半导体,精密机械等等领域。 产品特点 1.双通道气浮隔振系统大幅减小了环境振动的影响,还可以降低高精度量测时的噪声,提高超光滑表面的测试精度。 2.一体化操作的测量分析软件自动对焦样品表面,自动智能配置测试参数,使原来麻烦的“找条纹”,“选择测试参数”过程,在一分钟之内,自动完成。 3.双重防撞保护功能,除初级的软件ZSTOP设置Z向位移下限位进行防撞保护外,另在Z轴上设计有机械电子传感器,当镜头触碰到样品表面时,仪器自动进入紧急停止状态,能保护样品和设备的安全。 SuperViewW系列深圳3d光学轮廓仪检测仪器分辨率0.1μm,重复性0.1%,应用领域广泛,操作简便,可自动聚焦测量工件获取2D,3D表面粗糙度、轮廓等一百余项参数。可以用于测试各类表面。比如透明的玻璃表面,加上增透膜,其反射率小于1%;也可以用于测试直至100%反射率的各类高反表面。 技术参数 产品型号:SuperView W1系列 产品名称:光学3D表面轮廓仪 影像系统:1024×1024 光学ZOOM:0.5×,(0.75×,1×可选) 干涉物镜:10×,(2.5×,5×,20×,50×,100×可选) XY平台:尺寸320×200mm,行程140×110mm,电动、手动同时具备,均为光栅闭环反馈 Z轴行程:100mm,电动 Z向扫描范围:10mm Z向分辨率:0.1nm 可测样品反射率:0.05%-100% 水平调整:±5°手动 粗糙度RMS重复性:0.005nm 台阶高测量:准确度0.3%,重复性0.08% 1σ 主要特点:非接触式无损检测,一键分析、测量速度快、效率高 生产企业:深圳市中图仪器股份有限公司 注释:更多详细产品信息,请联系我们获取 SuperViewW系列深圳3d光学轮廓仪检测仪器集合了相移法PSI的高精度和垂直法VSI的大范围两大优点的扩展型相移算法EPSI,单一模式即可适用于从平面到弧面、超光滑到粗糙等各种表面类型,其3D重建算法,自动滤除样品表面噪点,在硬件系统的配合测量精度可达亚纳米级别,让3D测量变得简单。

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