3d形貌轮廓仪采用集合了相移法PSI的高精度和垂直法VSI的大范围两大优点的扩展型相移算法EPSI，单一模式即可适用于从平面到弧面、超光滑到粗糙等各种表面类型，其3D重建算法，自动滤除样品表面噪点，在硬件系统的配合测量精度可达亚纳米级别，让3D测量变得简单。 产品功能 1）3d形貌轮廓仪设备提供表征微观形貌的粗糙度和台阶高、角度等轮廓尺寸测量功能； 2）测量中提供自动对焦、自动找条纹、自动调亮度等自动化辅助功能； 3）测量中提供自动拼接测量、定位自动多区域测量功能； 4）分析中提供校平、图像修描、去噪和滤波、区域提取等四大模块的数据处理功能； 5）分析中提供粗糙度分析、几何轮廓分析、结构分析、频率分析、功能分析等五大分析功能； 6）分析中同时提供一键分析和多文件分析等辅助分析功能。 技术参数 产品型号：SuperView W1系列 产品名称：光学3D表面轮廓仪 影像系统：1024×1024 光学ZOOM：0.5×，（0.75×，1×可选） 干涉物镜：10×，（2.5×，5×，20×，50×，100×可选） XY平台：尺寸320×200mm，行程140×110mm，电动、手动同时具备，均为光栅闭环反馈 Z轴行程：100mm，电动 Z向扫描范围：10mm Z向分辨率：0.1nm 可测样品反射率：0.05%-100 水平调整：±5°手动 粗糙度RMS重复性：0.005nm 台阶高测量：准确度0.3%，重复性0.08% 1σ 主要特点：非接触式无损检测，一键分析、测量速度快 生产企业：深圳市中图仪器股份有限公司 注释：更多详细产品信息，请联系我们获取 产品特点 1、参数测量：粗糙度、围观轮廓尺寸、角度、面积、体积； 2、环境噪声检测：实时监测，纳米波动，也无可藏匿； 3、双重防撞保护：软件ZSTOP和Z向硬件传感器，让“以卵击石”也能安然无恙； 4、自动拼接：3轴光栅闭环反馈，让3D拼接“天衣无缝”； 5、双重振动隔离：气浮隔振，吸音隔振，任你“地动山摇，我自岿然不动”。 3d形貌轮廓仪让轮廓测量价格更为实惠，分辨率0.1μm，重复性0.1%，应用领域广泛，操作简便，可自动聚焦测量工件获取2D，3D表面粗糙度、轮廓等一百余项参数。