3轴机械臂_全轴采用AC伺服电机满足高速搬送 采用AC伺服电机的3轴机械臂特点：  超洁净无尘间用300mm晶圆对应MCR3000C系列 适用于半导体生产设备内部，检测设备等的晶圆搬运 全轴采用AC伺服电机满足高速搬送的需求 比MHR系列具有更好的性价比优势 机械手臂标准臂长:160mm, 200mm 适应设备需求可以选择底座固定方式，或者法兰固定方式 配备动作监视器 控制通讯方式：RS232C及并口I/O方式 全轴采用绝对值编码器规格的AC伺服电机 S曲线加减速控制方式能够高速，高精度地搬运半导体晶圆 晶圆固定方式：真空吸附式，下托式，边缘夹持式，伯努利非接触式 手指材质：CFRP(碳纤维),铝合金，高纯度陶瓷等多种可选材质 可以针对被搬运物体种类，设备布局等要求提供手指 了解更多：http://www.hapoin.com/wafer_transfer_robot/ 3轴机械臂_全轴采用AC伺服电机的相关产品： 衡鹏供应 4轴圆柱坐标洁净机械手臂/5轴真空水平多关节型洁净机械手臂