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本征区熔高阻硅片的物质是一种可溶性固体，其分子结构与普通聚酯相似。本征区熔高阻硅片的化合物的主要特点是具有较强的阻隔性和吸附性能。本征区熔高阻硅片的主要优点是能有效防止外延或扩散工序的二次吸附，并在表面成保护层。这种新型高阻硅片在其清洗剂中的活性物质可以吸附在硅片表面，使其长期处于易清洗、易分解和不易破损的物理吸附状态。能有效地提高外延或扩散工艺中成品率。可以有效地降低产品的重量和成本。