参数 CIS-400 外形尺寸 424*265*260MM 输入电压 220V/50Hz 溅射电压 600V 工作原理 磁控溅射 最大功率 4507 靶材尺寸 057*0.12MM (AU) 可选靶材 金、铂、银、铜、铝、铅等常用金属靶材 真空泵 直连式两级旋片式真空泵1心/S 真空室 0128*130MM高强度玻璃 极限真空 1PA(电阻式真空规) 抽气节拍 ≤90S 样品杯 00样品杯1个/025样品杯4个/15样品杯6个 样品室进气 自动：高精度微量进气阀 进气接头 O4快拧接头（外径4M,内径2.5MM气管) 江作电流 5-45MA任意可调 颗粒大小 6-10NM 保护功能 过流保护、真空保护