产品名称 VTC-16-3HD3靶等离子溅射仪 产品型号 VTC-16-3HD 安装条件 本设备要求在海拔1000m以下，温度25℃±15℃，湿度55%Rh±10%Rh下使用. 1、水：不需要 2、电：AC220V50Hz,有良好接地 3、气：设备腔室内需充注气气（纯度99.99%以上），需自备氛气气瓶（带压减阀） 4.工作台：尺寸600mm×600mm×700mm,,承重50ka以上 5、通风装置：不需要 主要参数 1、输入功率：110V/220V通用2000W(含真空泵) 2、输出功率：1600VDC50mA 3、石英置：0160mm×120mm 4、样品台：050mm(可选购加热型样品台，温度可到500℃：溅射时间不可超过5min) 5、真空泵：120L/M旋片式真空泵 7、靶材：尺寸直径047mm,厚度0.1mm-3mm;可溅射Au、Ag、Pt、Cr、Ni 产品规格 尺寸：360mm×350mm×3600mm; 重量：50kg 可选配件 1、KF25真空接口、卡箍 2、不锈钢波纹管(600mm) 3、旋片式真空泵(120L/M) 4、铂、银、锌等各种高纯度金属靶材 5、加热型样品台