氧化锆陶瓷垫圈信息-供应东莞价格合理的氧化锆陶瓷垫圈
所在地:广东省东莞市
联系人:曹先生
价格:面议
品牌:砾石,,,,
发布时间:2024-06-05
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砾石实业拥有市面上深受消费者赞誉的氧化锆陶瓷垫圈等产品和可靠的产品销售和技术团队,并拥有多种多样销售模式,在确认订单后,用户可通过在线支付;现金支付;银行转账;货到付款的方式付款,我公司会在3-5天为您及时发货。为客户提供有质量保证的的产品、良好的技术支持、售后服务:7天无理由退换货。欢迎全国各地客户来电咨询!量大优惠价格详谈。
长期以来,砾石实业在自主研发的基础上,不断汲取国内外成熟技术,氧化锆陶瓷垫圈不断推陈出新,其优越的品质,受到了社会各界的一致认可,为工业陶瓷使用人群带来了舒适、惬意、时尚的产品享受。公司始终走在绝缘材料行业的前端,供应的氧化锆陶瓷垫圈不仅在加工零件得到很好的运用,更是被广泛的应用在诸多领域。
氧化锆陶瓷垫圈信息,
靶材的主要性能要求
纯度
纯度是靶材的主要性能指标之一,因为靶材的纯度对薄膜的性能影响很大。不过在实际应用中,对靶材的纯度要求也不尽相同。例如,随着微电子行业的迅速发展,硅片尺寸由6”, 8“发展到12”, 而布线宽度由0.5um减小到0.25um,0.18um甚至0.13um,以前99.995%的靶材纯度可以满足0.35umIC的工艺要求,而制备0.18um线条对靶材纯度则要求99.999%甚至99.9999%。
杂质含量
靶材固体中的杂质和气孔中的氧气和水气是沉积薄膜的主要污染源。不同用途的靶材对不同杂质含量的要求也不同。例如,半导体工业用的纯铝及铝合金靶材,对碱金属含量和放射性元素含量都有特殊要求。
密度
为了减少靶材固体中的气孔,提高溅射薄膜的性能,通常要求靶材具有较高的密度。靶材的密度不仅影响溅射速率,还影响着薄膜的电学和光学性能。靶材密度越高,薄膜的性能越好。此外,提高靶材的密度和强度使靶材能地承受溅射过程中的热应力。密度也是靶材的关键性能指标之一。
晶粒尺寸及晶粒尺寸分布
通常靶材为多晶结构,晶粒大小可由微米到毫米量级。对于同一种靶材,晶粒细小的靶的溅射速率比晶粒粗大的靶的溅射速率快;而晶粒尺寸相差较小(分布均匀)的靶溅射沉积的薄膜的厚度分布更均匀。
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